그라운드 핀의 제거 방법을 통한 지연 테스트의 실현을 위한 프로브 카드에서의 그라운드 핀 제거방법 구현

Abstract

이 논문에서는 그라운드 핀 제거를 통하여 지연 테스트의 적정 주기를 알기 위한 방법을 구현 예와 문제점을 제시한다. 그라운드 핀을 제거하기 위해 probe card 상에서 릴레이를 통해 그라운드를 차단하도록 하였고, 릴레이의 고주파 특성을 분석함으로써 그 효용성을 살펴보았다. 또한 그라운드 제거의 가능성을 보기 위해 ATE 하에서의 테스트를 실행하여 그 결과를 보였다.