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반도체 제조 환경 클린룸 내 나노 입자 모니터링을 위한 고 유량 응축 핵 계수기의 개발 및 특성 평가
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| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 안강호 | - |
| dc.date.accessioned | 2021-06-23T01:54:34Z | - |
| dc.date.available | 2021-06-23T01:54:34Z | - |
| dc.date.created | 2020-12-17 | - |
| dc.date.issued | 2008-05-16 | - |
| dc.identifier.uri | https://scholarworks.bwise.kr/erica/handle/2021.sw.erica/26233 | - |
| dc.publisher | 한국반도체 및 디스플레이장비학회 | - |
| dc.title | 반도체 제조 환경 클린룸 내 나노 입자 모니터링을 위한 고 유량 응축 핵 계수기의 개발 및 특성 평가 | - |
| dc.type | Conference | - |
| dc.contributor.affiliatedAuthor | 안강호 | - |
| dc.identifier.bibliographicCitation | 한국반도체 및 디스플레이장비학회 2008년 춘계학술대회 | - |
| dc.relation.isPartOf | 한국반도체 및 디스플레이장비학회 2008년 춘계학술대회 | - |
| dc.citation.title | 한국반도체 및 디스플레이장비학회 2008년 춘계학술대회 | - |
| dc.citation.conferencePlace | 강원도 횡성 | - |
| dc.type.rims | CONF | - |
| dc.description.journalClass | 2 | - |
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