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반도체용 칩 테스트 챔버 내부 유동 특성에 관한 연구
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| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 손용진 | - |
| dc.contributor.author | 김성 | - |
| dc.contributor.author | 이슬기 | - |
| dc.contributor.author | 이경용 | - |
| dc.contributor.author | 황학원 | - |
| dc.contributor.author | 전민호 | - |
| dc.contributor.author | 윤준용 | - |
| dc.contributor.author | 최영석 | - |
| dc.date.accessioned | 2021-06-22T10:01:01Z | - |
| dc.date.available | 2021-06-22T10:01:01Z | - |
| dc.date.issued | 2019-07 | - |
| dc.identifier.uri | https://scholarworks.bwise.kr/erica/handle/2021.sw.erica/2769 | - |
| dc.description.abstract | 반도체 칩(chip)은 도체와 절연체의 중간적인 성질을 나타내며, HDTV 및 VTR 등 가전제품은 물론 전자기기나 첨단 통신위성 등에 널리 사용된다. 반도체 칩 제작시 칩의 정상적인 작동 여부에 대한 개별 테스트는 필수적이며, 여러 환경 변수를 제어할 수 있는 챔버가 필요하다. 또한 반도체 칩의 성능을 정확히 분석하기 위해 챔버 내부의 온도를 일정하게 유지해야한다. 직접적인 온도 제어는 매우 어렵기 때문에 챔버 내부 유동장의 온도를 제어하여 테스트를 수행한다. 본 연구에서는 수치해석을 통하여 반도체 칩 테스트용 챔버의 내부순환 유량조건에서 내부의 유동 분포 및 압력손실의 특성 변화를 분석하였다. 또한, 챔버 내부 유동이 불균일하게 분포하는 것을 파악하였으며, 그 원인에 대한 분석을 실시하였다. 챔버 내부 구성품인 히터, 칩 테스터 모듈 및 열교환기에 대한 압력강하 실험과 수치해석 결과를 비교하여 해석의 타당성을 확보하였다. 수치해석 수행시 챔버 내부 구성품에대한 묘사는 손실 법칙 (Dary’s Law)을 이용한 다공성 매질의 개념으로 정의하였다. | - |
| dc.format.extent | 2 | - |
| dc.language | 한국어 | - |
| dc.language.iso | KOR | - |
| dc.publisher | 한국유체기계학회 | - |
| dc.title | 반도체용 칩 테스트 챔버 내부 유동 특성에 관한 연구 | - |
| dc.title.alternative | Analysis of Flow Characteristics in a Semiconductor Chip Test Chamber | - |
| dc.type | Article | - |
| dc.publisher.location | 대한민국 | - |
| dc.identifier.bibliographicCitation | 한국유체기계학회 논문집, pp 30 - 31 | - |
| dc.citation.title | 한국유체기계학회 논문집 | - |
| dc.citation.startPage | 30 | - |
| dc.citation.endPage | 31 | - |
| dc.description.isOpenAccess | N | - |
| dc.description.journalRegisteredClass | other | - |
| dc.subject.keywordAuthor | Semiconductor chip(반도체 칩) | - |
| dc.subject.keywordAuthor | Chamber(챔버) | - |
| dc.subject.keywordAuthor | Pressure loss(압력손실) | - |
| dc.subject.keywordAuthor | Temperature(온도) | - |
| dc.subject.keywordAuthor | Fan(송풍기) | - |
| dc.identifier.url | https://www.dbpia.co.kr/journal/articleDetail?nodeId=NODE09225299 | - |
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Related Researcher
- YOON, JOON YONG
- ERICA 공학대학 (DEPARTMENT OF MECHANICAL ENGINEERING)