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COLLEGE OF SCIENCE AND CONVERGENCE TECHNOLOGY
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극자외선 리소그래피를 이용한 16nm 급 패턴 구현시 플레어 및 그림자효과 영향
오혜근
Conference
Issue Date
2012
Citation
차세대 리소그래피 학술대회
Publisher
광학회
Place
대한민국
극자외선 리소그래피용 펠리클 막 지지를 위한 육각형 그물구조의 광학적 특성 연구
오혜근
Conference
Issue Date
2013
Citation
차세대 리소그래피 학술대회
Publisher
광학회
Place
대한민국
193nm 파장을 이용한 극자외선 마스크의 결함 검출
오혜근
Conference
Issue Date
2013
Citation
차세대 리소그래피 학술대회
Publisher
광학회
Place
대한민국
EUV 빔 흡수에 따른 펠리클의 온도 상승에 대한 이론적 모델링
오혜근
Conference
Issue Date
2012
Citation
차세대 리소그래피 학술대회
Publisher
광학회
Place
대한민국
장 기간 노광 공정에서 극자외선 리소그래피용 펠리클의 열적 특성 연구
오혜근
Conference
Issue Date
2013
Citation
차세대 리소그래피 학술대회
Publisher
광학회
Place
대한민국
1
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Author
OH, HYE KEUN
5
Date Issued
2013
3
2012
2
Type
Conference
5
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