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COLLEGE OF SCIENCE AND CONVERGENCE TECHNOLOGY
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193 nm 광리소그래피 시뮬레이션을 위한 노광변수 추출 및 노광 후 열처리 과정에 관한 연구
오혜근
Conference
Issue Date
2000
Citation
한국물리학회
Publisher
한국물리학회
Place
포항공대
193 nm 화학 증폭형 감광제를 위한 노광 시뮬레이션의 모델링 분석
오혜근
Conference
Issue Date
2000
Citation
한국물리학회
Publisher
한국물리학회
Place
포항공대
화학 증폭형 감광제의 패턴 유무에 따른 현상 변수 차이
오혜근
Conference
Issue Date
2000
Citation
한국물리학회
Publisher
한국물리학회
Place
포항공대
The Effect of Temperature Variation during Post Exposure Bake on Pattern Critical Dimension
오혜근
Conference
Issue Date
2000
Citation
한국물리학회
Publisher
한국물리학회
Place
포항공대
전열처리 전후의 193 nm 용 화학 증폭형 감광제의 특성 변화
오혜근
Conference
Issue Date
2000
Citation
한국물리학회
Publisher
한국물리학회
Place
포항공대
Dual Mechanism Exposure Model of CAR
오혜근
Conference
Issue Date
1999
Citation
한국물리학회
Publisher
한국물리학회
Place
건국대
Simulated Annealing 방법을 이용한 노광 변수 추출 시뮬레이터 개발
오혜근
Conference
Issue Date
1999
Citation
한국물리학회
Publisher
한국물리학회
Place
건국대
노광효과에 따른 I-선 및 g-선 감광제와 193 nm 감광제의 두께 변화 메카니즘 비교
오혜근
Conference
Issue Date
1999
Citation
한국물리학회
Publisher
한국물리학회
193 nm 용 화학 증폭형 감광제의 노광 후 열처리 공정시 두께 감소
오혜근
Conference
Issue Date
1999
Citation
한국물리학회
Publisher
한국물리학회
Optical Property and Durability of 193 nm Pellicle
오혜근
Conference
Issue Date
1999
Citation
한국물리학회
Publisher
한국물리학회
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Author
OH, HYE KEUN
33
Date Issued
2001
5
2000
14
1999
13
1997
1
Type
Conference
33
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