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COLLEGE OF SCIENCE AND CONVERGENCE TECHNOLOGY
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Mask Haze Inspection Method System by Ellipsometry
오혜근
Conference
Issue Date
2005
Citation
한국 물리학회 2005 년 가을학술논문발표회
Publisher
한국물리학회
Place
전북대
Imaging variation and reflectivity control using the ARC with polarized illumination, PSM, OAI for immersion lithography
오혜근
Conference
Issue Date
2005
Citation
한국 물리학회 2005 년 가을학술논문발표회
Publisher
한국물리학회
Place
전북대
Alternating phase shift mask phase uniformity according to duty ratio
오혜근
Conference
Issue Date
2005
Citation
한국 물리학회 2005 년 가을학술논문발표회
Publisher
한국물리학회
Place
전북대
Single trench AAPSM에서 pattern size 와 shape 에 따른 optimum biasing
오혜근
Conference
Issue Date
2005
Citation
한국 물리학회 2005 년 가을학술논문발표회
Publisher
한국물리학회
Place
전북대
Side wall effect of extreme ultraviolet lithography mask
오혜근
Conference
Issue Date
2005
Citation
한국 물리학회 2005 년 가을학술논문발표회
Publisher
한국물리학회
Place
전북대
산확산 거리의 물리적 분석과 시뮬레이션을 통한 비교 연구
오혜근
Conference
Issue Date
2005
Citation
한국 물리학회 2005 년 가을학술논문발표회
Publisher
한국물리학회
Place
전북대
Mask haze 로 인한 투과율 변화
오혜근
Conference
Issue Date
2005
Citation
한국 물리학회 2005 년 가을학술논문발표회
Publisher
한국물리학회
Place
전북대
1
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Author
OH, HYE KEUN
7
Date Issued
2005
7
Type
Conference
7
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