한국어
LIBRARY
Communities & Collections
Researchers
Titles
Issue Date
Journals
검색
Search
All of ScholarWorks
COLLEGE OF SCIENCE AND CONVERGENCE TECHNOLOGY
DEPARTMENT OF APPLIED PHYSICS
1. Journal Articles
2. Conference Papers
3. Books & Book Chapters
4. Patents
5. Others
Current filters:
Title
Author
Subject
Date Issued
Type
Language
Journal
Journal Index
Equals
Contains
ID
Not Equals
Not Contains
Not ID
Add filters:
Title
Author
Subject
Date Issued
Type
Language
Journal
Journal Index
Equals
Contains
ID
Not Equals
Not Contains
Not ID
Results/Page
5
10
15
20
25
30
35
40
45
50
55
60
65
70
75
80
85
90
95
100
Sort items by
Relevance
Title
Issue Date
In order
Ascending
Descending
Authors/record
All
1
5
10
15
20
25
30
35
40
45
50
Results 1-5 of 5 (Search time: 0.002 seconds).
Benchmark our simulation tool(LUV) with other commercial simulation tools
오혜근
Conference
Issue Date
2003
Citation
2003 년도 한국물리학회 추계학술대회
Publisher
한국물리학회
Place
대구 경북대
Immersion Lithography를 위한 조명계 설계
오혜근
Conference
Issue Date
2003
Citation
2003 년도 한국물리학회 추계학술대회
Publisher
한국물리학회
Place
대구 경북대
EUV(Extreme Ultraviolet) 리소그래피에서 단차가 있는 마스크에서의 CD 변화 전산모사
오혜근
Conference
Issue Date
2003
Citation
2003 년도 한국물리학회 추계학술대회
Publisher
한국물리학회
Place
대구 경북대
Mask feature optimization by comparing the wafer critical dimension
오혜근
Conference
Issue Date
2003
Citation
2003 년도 한국물리학회 추계학술대회
Publisher
한국물리학회
Place
대구, 경북대
Rotating compensator spectroscopic ellipsometry를 이용한 Post Exposure Bake 변수 추출
오혜근
Conference
Issue Date
2003
Citation
2003 년도 한국물리학회 추계학술대회
Publisher
한국물리학회
Place
대구 경북대
1
Discover
Author
OH, HYE KEUN
5
Date Issued
2003
5
Type
Conference
5
BROWSE
한국어
Communities & Collections
Researchers
Titles
Journals
LIBRARY