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차세대 반도체 공정을 위한 실시간 수율관리시스템 아키텍처 구축에 대한 연구
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| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 박유진 | - |
| dc.contributor.author | 박영수 | - |
| dc.contributor.author | 허선 | - |
| dc.contributor.author | 이현 | - |
| dc.date.accessioned | 2021-06-23T12:38:02Z | - |
| dc.date.available | 2021-06-23T12:38:02Z | - |
| dc.date.issued | 2010-11 | - |
| dc.identifier.uri | https://scholarworks.bwise.kr/erica/handle/2021.sw.erica/39358 | - |
| dc.description.abstract | 차세대 반도체 산업은 제조공정의 미세화, 복잡화, 다단계화 등이 심화되고 이로 인해 제조원가의 절감을 위한 단위 Wafer당 보다 많은 칩을 생산할 수 있는 450mm 웨이퍼의 도입을 반드시 필요로 한다. 본 논문에서는 클러스터 툴을 주로 사용하는 450mm 웨이퍼 수율관리 개선 시스템의 구현방향과 상세 기능과 각 모듈에 대한 연구를 수행하였으며, 450mm 웨이퍼 생산체제 하에서 필요한 수율관리 시스템인 RTFMD 시스템을 제안 하였다. | - |
| dc.language | 한국어 | - |
| dc.language.iso | KOR | - |
| dc.publisher | 한국산학기술학회 | - |
| dc.title | 차세대 반도체 공정을 위한 실시간 수율관리시스템 아키텍처 구축에 대한 연구 | - |
| dc.title.alternative | Development of Real-Time Fault Monitoring and Detection System for Next Generation Fa | - |
| dc.type | Article | - |
| dc.publisher.location | 대한민국 | - |
| dc.identifier.bibliographicCitation | 2010년 한국산학기술학회 추계 학술발표논문집, pp 555 - 558 | - |
| dc.citation.title | 2010년 한국산학기술학회 추계 학술발표논문집 | - |
| dc.citation.startPage | 555 | - |
| dc.citation.endPage | 558 | - |
| dc.description.isOpenAccess | N | - |
| dc.description.journalRegisteredClass | other | - |
| dc.identifier.url | https://www.koreascience.or.kr/article/CFKO201032038375963.pdf | - |
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