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MEMS기술을 이용한 전해 도금된 구리 마이크로 빔 구조물 제작에 관한 연구
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| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 안유민 | - |
| dc.date.accessioned | 2021-06-23T17:38:45Z | - |
| dc.date.available | 2021-06-23T17:38:45Z | - |
| dc.date.issued | 2008-06 | - |
| dc.identifier.uri | https://scholarworks.bwise.kr/erica/handle/2021.sw.erica/42406 | - |
| dc.description.abstract | MEMS 기술을 이용하여 릴리즈 된 전해 도금된 구리 마이크로 빔 구조물을 제작하기 위한 공정조건을 수립하고 실제 제작하였다. LIGA-like 공정, 즉 희생층을 이용해 7㎛ 높이의 전해 도금을 위한 몰드를 제작하고 구리 전해도금을 하여 외팔보 형태와 브릿지 형태의 빔 구조물 을 만든 후 희생층을 제거하여 빔 구조물을 릴리즈시킨다. 도금 시 발생하는 도금의 불균일 문제를 해결하기 위해 도금 경로에 따른 도금의 불균일성의 영향을 줄일 수 있도록 마스크를 설계하였다. 이상적이고 완전한 형상의 마이크로 빔 구조물을 제작할 수 있도록 공정방법을 구현하였다. 특히, 희생층을 제거하기 앞서 상부 기반층에 남아 있는 금속층을 제거할 때 가스 나 식각액과 구리와의 반응성을 해결하기 위한 실험을 실행하여 대안을 제시하였다. | - |
| dc.language | 한국어 | - |
| dc.language.iso | KOR | - |
| dc.publisher | 한양대학교 공학기술연구소 | - |
| dc.title | MEMS기술을 이용한 전해 도금된 구리 마이크로 빔 구조물 제작에 관한 연구 | - |
| dc.title.alternative | A Study on the Fabrication of Copper Electroplated Micro Beam Structure by Using MEMS Technology | - |
| dc.type | Article | - |
| dc.publisher.location | 대한민국 | - |
| dc.identifier.bibliographicCitation | 공학기술논문집 | - |
| dc.citation.title | 공학기술논문집 | - |
| dc.description.isOpenAccess | N | - |
| dc.description.journalRegisteredClass | domestic | - |
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Related Researcher
- Ahn, Yoomin
- ERICA 공학대학 (DEPARTMENT OF MECHANICAL ENGINEERING)