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다목적 특징 선택을 통한 반도체 제조공정에서의 불량탐지 방안
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| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 박세미 | - |
| dc.contributor.author | 안길승 | - |
| dc.contributor.author | 강창욱 | - |
| dc.contributor.author | 허선 | - |
| dc.date.accessioned | 2021-06-22T12:02:25Z | - |
| dc.date.available | 2021-06-22T12:02:25Z | - |
| dc.date.created | 2021-02-18 | - |
| dc.date.issued | 2018-04 | - |
| dc.identifier.uri | https://scholarworks.bwise.kr/erica/handle/2021.sw.erica/6327 | - |
| dc.language | 한국어 | - |
| dc.language.iso | ko | - |
| dc.publisher | 대한산업공학회 | - |
| dc.title | 다목적 특징 선택을 통한 반도체 제조공정에서의 불량탐지 방안 | - |
| dc.type | Article | - |
| dc.contributor.affiliatedAuthor | 허선 | - |
| dc.identifier.bibliographicCitation | 대한산업공학회 춘계공동학술대회 논문집, pp.1662 - 1672 | - |
| dc.relation.isPartOf | 대한산업공학회 춘계공동학술대회 논문집 | - |
| dc.citation.title | 대한산업공학회 춘계공동학술대회 논문집 | - |
| dc.citation.startPage | 1662 | - |
| dc.citation.endPage | 1672 | - |
| dc.type.rims | ART | - |
| dc.description.journalClass | 3 | - |
| dc.description.isOpenAccess | N | - |
| dc.description.journalRegisteredClass | other | - |
| dc.identifier.url | https://www.dbpia.co.kr/journal/articleDetail?nodeId=NODE07420838 | - |
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