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193 nm 광리소그래피 시뮬레이션을 위한 노광변수 추출 및 노광 후 열처리 과정에 관한 연구
오혜근
Conference
Issue Date
2000
Citation
한국물리학회
Publisher
한국물리학회
Place
포항공대
193 nm 화학 증폭형 감광제를 위한 노광 시뮬레이션의 모델링 분석
오혜근
Conference
Issue Date
2000
Citation
한국물리학회
Publisher
한국물리학회
Place
포항공대
화학 증폭형 감광제의 패턴 유무에 따른 현상 변수 차이
오혜근
Conference
Issue Date
2000
Citation
한국물리학회
Publisher
한국물리학회
Place
포항공대
The Effect of Temperature Variation during Post Exposure Bake on Pattern Critical Dimension
오혜근
Conference
Issue Date
2000
Citation
한국물리학회
Publisher
한국물리학회
Place
포항공대
전열처리 전후의 193 nm 용 화학 증폭형 감광제의 특성 변화
오혜근
Conference
Issue Date
2000
Citation
한국물리학회
Publisher
한국물리학회
Place
포항공대
노광후 열처리 과정에서 확산을 고려한 전산모사
오혜근
Conference
Issue Date
2000
Citation
한국물리학회
Publisher
한국물리학회
Place
육군사관학교
SEM 사진을 이용한 현상 파라미터 추출
오혜근
Conference
Issue Date
2000
Citation
한국물리학회
Publisher
한국물리학회
Place
육군사관학교
회전 도포시의 두께와 균일도 예측을 위한 전산모사기 개발
오혜근
Conference
Issue Date
2000
Citation
한국물리학회
Publisher
한국물리학회
Place
육군사관학교
노광후 지연 효과에 의한 193 nm 화학 증폭형 감광제의 특성 변화
오혜근
Conference
Issue Date
2000
Citation
한국물리학회
Publisher
한국물리학회
Place
육군사관학교
A Novel Approach to Get Exposure Parameters for 193 nm Chemically Amplified Resist
오혜근
Conference
Issue Date
2000
Citation
한국물리학회
Publisher
한국물리학회
Place
육군사관학교
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Author
OH, HYE KEUN
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Type
Conference
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