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193 nm 광리소그래피 시뮬레이션을 위한 노광변수 추출 및 노광 후 열처리 과정에 관한 연구
오혜근
Conference
Issue Date
2000
Citation
한국물리학회
Publisher
한국물리학회
Place
포항공대
193 nm 화학 증폭형 감광제를 위한 노광 시뮬레이션의 모델링 분석
오혜근
Conference
Issue Date
2000
Citation
한국물리학회
Publisher
한국물리학회
Place
포항공대
화학 증폭형 감광제의 패턴 유무에 따른 현상 변수 차이
오혜근
Conference
Issue Date
2000
Citation
한국물리학회
Publisher
한국물리학회
Place
포항공대
The Effect of Temperature Variation during Post Exposure Bake on Pattern Critical Dimension
오혜근
Conference
Issue Date
2000
Citation
한국물리학회
Publisher
한국물리학회
Place
포항공대
Effect of Temperature Variation During Post Exposure Bake on 193 nm Chemically Amplified Resist Simulation
오혜근
Conference
Issue Date
2000
Citation
2000 Int'l Microprocess and Nanotechnology Conf.
Publisher
일본 응용 학회
Place
일본
Contact Hole 패턴에 대한 Thermal Flow 전산모사
오혜근
Conference
Issue Date
2004
Citation
2004 년도 한국물리학회 추계학술대회
Publisher
2004 년도 한국물리학회 추계학술대회
Place
제주
Return-path ellipsometry의 Jones matrix와 Muller matrix
오혜근
Conference
Issue Date
2003
Citation
한국물리학회 2003 년 춘계물리학회
Publisher
한국물리학회
Place
연세대학교, 서울
조명계 최적조건 구축을 위한 전산 모사기 개발
오혜근
Conference
Issue Date
2002
Citation
한국 물리학회
Publisher
한국 물리학회
Place
부산
Simulation of mask buffer and absorber performance in extreme ultraviolet lithography
오혜근
Conference
Issue Date
2004
Citation
2004 년도 한국물리학회 춘계학술대회
Publisher
한국물리학회
Place
성대
A study of attenuated PSM structure for EUVL to minimize mask shadowing effect
오혜근
Conference
Issue Date
2008
Citation
2008 International Workshop on EUV Lithography
Publisher
SPIE
Place
Maui, Hawaii
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2009
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2008
20
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2000
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2006 년 봄 한국물리학회 학술논문발표회
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한국물리학회 2003 년 춘계물리학회
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한국 물리학회
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2004 년도 한국물리학회 추계학술대회
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2008 년 봄 물리학회
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한국 물리학회 2005 년 가을학술논문발표회
7
2004 년도 한국물리학회 춘계학술대회
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