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EUV PR에서 pattern collapse 현상과 최적의 변수찾기
오혜근
Conference
Issue Date
2007
Citation
2007년 봄 물리학회 학술논문발표회
Publisher
물리학회
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휘닉스파크
ArF contact hole 의 reflow 후 60 nm 급 패턴을 만들기 위한 OPC 조건
오혜근
Conference
Issue Date
2007
Citation
2007년 봄 물리학회 학술논문발표회
Publisher
물리학회
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휘닉스파크
Influence of acid diffusion length in EUV lithography
오혜근
Conference
Issue Date
2007
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2007년 봄 물리학회 학술논문발표회
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물리학회
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휘닉스파크
질소 퍼지 여부에 관한 pellicle 의 lifetime 연구
오혜근
Conference
Issue Date
2007
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2007년 봄 물리학회 학술논문발표회
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물리학회
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휘닉스파크
EUV 마스크에서 defect 위치에 따른 패턴의 변화
오혜근
Conference
Issue Date
2007
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2007년 봄 물리학회 학술논문발표회
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물리학회
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휘닉스파크
ArF contact hole 의 조명계 및 마스크 설계에서의 편광효과 연구
오혜근
Conference
Issue Date
2007
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2007년 봄 물리학회 학술논문발표회
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물리학회
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휘닉스파크
Sidewall angle dependency on haze defect in the 45 nm node att.PSM
오혜근
Conference
Issue Date
2007
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2007년 봄 물리학회 학술논문발표회
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물리학회
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휘닉스파크
Flare 현상의 이해와 Extreme ultra-violet photoresist 의 방향
오혜근
Conference
Issue Date
2007
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2007년 봄 물리학회 학술논문발표회
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물리학회
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휘닉스파크
45 nm Attenuated Phase Shift Mask 에서의 Haze Defect 의 수에 따른 Normalized Image Log Slope 값과 Contrast 값의 비교
오혜근
Conference
Issue Date
2007
Citation
2007년 봄 물리학회 학술논문발표회
Publisher
물리학회
Place
휘닉스파크
Chromeless phase lithoraphy 에서의 pitch 값에 따른 최적의 공정여유도 연구
오혜근
Conference
Issue Date
2007
Citation
2007년 봄 물리학회 학술논문발표회
Publisher
물리학회
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휘닉스파크
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Author
OH, HYE KEUN
11
Date Issued
2007
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