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산소 유입 없이 RF 스퍼터로 증착한 고품질 ITO 박막의 두께와 열처리 온도에 따른 박막의 특성 변화
성지하; 김형민; 신성민;
김경환
;
홍정수
Article
Issue Date
2024
Citation
전기전자재료학회논문지, v.37, no.3, pp 253 - 260
Publisher
한국전기전자재료학회
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