Detailed Information
Cited 0 time in 
Cited 0 time in 
Cited 0 time in
Metadata Downloads
MWCNT 가스센서의 전극 간극 변화에 따른 NOx 가스 검출 특성NOx Gas Detection Characteristics of MWCNT Gas Sensor by Electrode Spacing Variation
- Other Titles
- NOx Gas Detection Characteristics of MWCNT Gas Sensor by Electrode Spacing Variation
- Issue Date
- 2014
- Publisher
- 한국전기전자재료학회
- Keywords
- MWCNT (multi-walled carbon nano tube); MOS-FET; NOx gas sensor; Electrode spacing; Vgs (gate-source voltage)
- Citation
- 전기전자재료학회논문지, v.27, no.10, pp.668 - 672
- Journal Title
- 전기전자재료학회논문지
- Volume
- 27
- Number
- 10
- Start Page
- 668
- End Page
- 672
- ISSN
- 1226-7945
- Abstract
- 본 연구에서는 우수한 전도 특성과 화학적 안정성, 및 소형화가 가능하며, 대량 생산이 가능한 탄소 나노튜브를 화학 기상 성장법 (chemical vapor deposition, CVD)을 이용하여 MWCNT (multi-walled carbon nanotube)를 제조하였으며, 제조된 MWCNT를 이용하여 MOS-FET구조의 NOx가스센서를 제작하였다. 제작된 가스센서에 대해서 홀효과 측정기를 통하여 구조적 및 전기적 특성을 분석하였으며, 가스센서의 게이트-소스 사이의 전압 변화에 따른 가스센서의 저 농도 NOx 가스 검출 특성을 실험하였다. 또한, 전극 간극과 온도의 변화에 따른 가스센서의 동작, 민감도 및 게이트-소스전압()의 변화에 따른 흡착에너지 특성을 분석하였다.
- Files in This Item
- There are no files associated with this item.
- Appears in
Collections - IT융합대학 > 전기공학과 > 1. Journal Articles
Items in ScholarWorks are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.
Related Researcher
- Jang, Kyung Uk
- College of IT Convergence (Department of Electrical Engineering)