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PC 기판상에 스퍼터링된 투명전도 산화막의 레이저 식각 특성
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| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 이정민 | - |
| dc.contributor.author | 조의식 | - |
| dc.contributor.author | 권상직 | - |
| dc.date.available | 2020-02-28T21:44:49Z | - |
| dc.date.created | 2020-02-12 | - |
| dc.date.issued | 2014 | - |
| dc.identifier.issn | 1226-7945 | - |
| dc.identifier.uri | https://scholarworks.bwise.kr/gachon/handle/2020.sw.gachon/13962 | - |
| dc.description.abstract | 플렉서블 기판상에 증착된 투명전도막(TCO)의 간략화된 패터닝의 한 방법으로, 레이저 직접 식각 방법이 폴리카보네이트(PC)기판상에 증착된 TCO 박막들에 대해 적용되었다. 다양한 Nd:YVO4 레이저 빔 조건에 대하여, TCO 박막의 종류에 따른 식각 특성의 차이는 박막 내 결합에너지의 차이로 인하여 야기된다 가정할 수 있었다. | - |
| dc.language | 한국어 | - |
| dc.language.iso | ko | - |
| dc.publisher | 한국전기전자재료학회 | - |
| dc.relation.isPartOf | 전기전자재료학회논문지 | - |
| dc.title | PC 기판상에 스퍼터링된 투명전도 산화막의 레이저 식각 특성 | - |
| dc.title.alternative | Laser Direct Etching on Transparent Conductive Oxide Films Sputtered on Polycarbonate Substrates | - |
| dc.type | Article | - |
| dc.type.rims | ART | - |
| dc.description.journalClass | 2 | - |
| dc.identifier.doi | 10.4313/JKEM.2014.27.3.146 | - |
| dc.identifier.bibliographicCitation | 전기전자재료학회논문지, v.27, no.3, pp.146 - 150 | - |
| dc.identifier.kciid | ART001856946 | - |
| dc.citation.endPage | 150 | - |
| dc.citation.startPage | 146 | - |
| dc.citation.title | 전기전자재료학회논문지 | - |
| dc.citation.volume | 27 | - |
| dc.citation.number | 3 | - |
| dc.contributor.affiliatedAuthor | 이정민 | - |
| dc.contributor.affiliatedAuthor | 조의식 | - |
| dc.contributor.affiliatedAuthor | 권상직 | - |
| dc.subject.keywordAuthor | TCO (transparent conductive oxide) | - |
| dc.subject.keywordAuthor | Laser direct etching | - |
| dc.subject.keywordAuthor | PC (polycarbonate) | - |
| dc.subject.keywordAuthor | Nd:YVO4 | - |
| dc.subject.keywordAuthor | Binding energy | - |
| dc.description.journalRegisteredClass | kci | - |
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