스퍼터링된 산화 아연 박막의 레이저 직접 식각 시기판에 의한 영향

Abstract

글라스 및 플렉서블 기판 등 다양한 기판 위에 스퍼터링으로 증착된 산화 아연 박막을 1,064 nm 파장의 Nd:YVO4 레이저를 이용하여 직접 패터닝을 시도하였다. 실험 결과, 특정 주파수 및 레이저 빔 스캔 스피드 조건에서 폴리카보네이트(PC) 기판 위 증착된 산화 아연 박막의 식각된 패턴을 얻을 수 있었다. 낮은 스캔 스피드의 경우 플렉서블 기판이 레이저 빔 에너지의 밀집으로 인하여 파괴되는 것을 확인하였으며, 기판에 따른 박막 패터닝 결과의 차이는 기판의 열팽창 계수와 열전도도의 차이로부터 발생했다 결론내릴 수 있었다.