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다중벽 카본 나노튜브를 이용한 FET식 NOx 가스 센싱 시스템 제작The Fabrication of FET-Type NOx Gas Sensing System Using the MWCNT
- Other Titles
- The Fabrication of FET-Type NOx Gas Sensing System Using the MWCNT
- Issue Date
- 2013
- Publisher
- 한국전기전자재료학회
- Keywords
- MWCNT (multi-walled carbon nano tube); NOx; Gas sensor; P-Type Si MWCNT Gas sensor; FET
- Citation
- 전기전자재료학회논문지, v.26, no.4, pp.325 - 329
- Journal Title
- 전기전자재료학회논문지
- Volume
- 26
- Number
- 4
- Start Page
- 325
- End Page
- 329
- ISSN
- 1226-7945
- Abstract
- 본 연구에서는 화학적 및 전기적으로 안정성을 가진 CNT를 CVD법으로 제조한 MWCNT (Multi-Walled Carbon Nano Tube)를 이용하여 P-type Si웨이퍼위에 NOx가스센서를 제작하였다. 제작된 가스센서를 SEM촬영 및 홀 측정기를 통해 구조적, 전기적 특성을 분석하였으며, NOx가스의 흡착과 온도에 따른 가스센서의 동작, 민감도 및 흡착에너지 특성을 분석하였다.
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Collections - IT융합대학 > 전기공학과 > 1. Journal Articles
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Related Researcher
- Jang, Kyung Uk
- College of IT Convergence (Department of Electrical Engineering)