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산소 이온 빔에 의한 산화 알루미늄 박막의 식각 효과 및 정전 용량 특성에 관한 연구
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| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 조의식 | - |
| dc.contributor.author | 권상직 | - |
| dc.date.available | 2020-02-29T03:43:59Z | - |
| dc.date.created | 2020-02-12 | - |
| dc.date.issued | 2013 | - |
| dc.identifier.issn | 2288-6559 | - |
| dc.identifier.uri | https://scholarworks.bwise.kr/gachon/handle/2020.sw.gachon/15667 | - |
| dc.description.abstract | 고유전율 절연체의 한 종류인 산화알루미늄 박막을 전자빔 증착법으로 형성하는 과정에서 산소 이온 빔의 조사를 이용, 산소이온 빔 보조 증착 효과를 기대하였다. 산소 이온 보조 증착법으로 형성된 산화 알루미늄 박막의 두께 측정 결과, 높은 에너지에서의 이온 빔에 의한 식각 효과를 확인할 수 있었으며, 산소 이온 보조 증착 결과보다 높은 커패시턴스 값도 관찰할 수 있었다. | - |
| dc.language | 한국어 | - |
| dc.language.iso | ko | - |
| dc.publisher | 한국진공학회 | - |
| dc.relation.isPartOf | Applied Science and Convergence Technology | - |
| dc.title | 산소 이온 빔에 의한 산화 알루미늄 박막의 식각 효과 및 정전 용량 특성에 관한 연구 | - |
| dc.title.alternative | A Study on the Etching Effect and the Capacitance of Aluminum Oxide Thin Film by Oxygen Ion Beam | - |
| dc.type | Article | - |
| dc.type.rims | ART | - |
| dc.description.journalClass | 2 | - |
| dc.identifier.bibliographicCitation | Applied Science and Convergence Technology, v.22, no.1, pp.26 - 30 | - |
| dc.identifier.kciid | ART001740660 | - |
| dc.citation.endPage | 30 | - |
| dc.citation.startPage | 26 | - |
| dc.citation.title | Applied Science and Convergence Technology | - |
| dc.citation.volume | 22 | - |
| dc.citation.number | 1 | - |
| dc.contributor.affiliatedAuthor | 조의식 | - |
| dc.contributor.affiliatedAuthor | 권상직 | - |
| dc.subject.keywordAuthor | 알루미늄 산화막 | - |
| dc.subject.keywordAuthor | 산소 이온 빔 보조 증착 | - |
| dc.subject.keywordAuthor | 식각 효과 | - |
| dc.subject.keywordAuthor | 정전 용량 | - |
| dc.subject.keywordAuthor | Aluminum oxide | - |
| dc.subject.keywordAuthor | Oxygen ion beam assisted deposition | - |
| dc.subject.keywordAuthor | Etching effect | - |
| dc.subject.keywordAuthor | Capacitance | - |
| dc.description.journalRegisteredClass | kci | - |
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