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MWCNT/ZnO 복합체 필름을 이용한 가스센서의 NOX 가스 검출 특성 분석The Analysis of NOX Gas Detection Characteristics for the Gas Sensor Using the MWCNT/ZnO Composites Film
- Other Titles
- The Analysis of NOX Gas Detection Characteristics for the Gas Sensor Using the MWCNT/ZnO Composites Film
- Issue Date
- 2016
- Publisher
- 한국전기전자재료학회
- Keywords
- Multi-walled carbon nanotube; Zinc oxide; MWCNT/ZnO composite film gas sensor; Sensitivity; NOX gas
- Citation
- 전기전자재료학회논문지, v.29, no.5, pp.312 - 316
- Journal Title
- 전기전자재료학회논문지
- Volume
- 29
- Number
- 5
- Start Page
- 312
- End Page
- 316
- ISSN
- 1226-7945
- Abstract
- 본 연구에서는 우수한 전도 특성과 화학적 안정성을 지녔으며 소형화 및 대량생산이 가능한 카본 나노 튜브(carbon nanotubes, CNT)를 열적 화학 기상 성장법(Thermal Chemical Vapor Deposition)을 통해 제조된, MWCNT (Multi-Walled Carbon Nanotube)와 산화아연(zinc oxide, ZnO)을 이용하여 MWCNT/ZnO 복합체 필름을 제작하였으며, 상온 및 온도 변화에 따른 NOX 가스 검출 특성을 산화아연 가스센서와 비교 분석하였다. 또한, 챔버 내 NOX 가스 농도에 따른 가스센서의 검출 특성을 실험하였다.
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Related Researcher
- Lee, Won Jae
- IT (Department of Electronic Engineering)