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KCI
Al2O3 Free 다성분계 유리의 CF4/O2/Ar 내플라즈마 특성Go to Link

민경원; 최재호; 정윤성; 임원빈; 김형준

ArticleIssue Date2022Citation반도체디스플레이기술학회지, v.21, no.3, pp 57 - 62Publisher한국반도체디스플레이기술학회
KCI
MgO-Al2O3-SiO2계 유리의 열물성과 내플라즈마성 연구Go to Link

윤지섭; 최재호; 정윤성; 민경원; 임원빈; 김형준

ArticleIssue Date2021Citation반도체디스플레이기술학회지, v.20, no.2, pp 61 - 66Publisher한국반도체디스플레이기술학회
ESCIKCI
실리콘 단결정 잉곳용 석영유리 도가니의 brownish ring에 대한 연구Go to Link

정윤성; 최재호; 민경원; 변영민; 임원빈; 노성훈; 강남훈; 김형준

ArticleIssue Date2022Citation한국결정성장학회지, v.32, no.3, pp 115 - 120Publisher한국결정성장학회
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