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SCIE
SCOPUS
KCI
Comparison of plasma densities measured by using electrical probes to those measured by using microwave probes in inductively coupled plasmas
Kim, Won-Ki; Lee, Min-Hyong;
Chung, Chin-Wook
; Kim, Jung-Hyung
Article
Issue Date
2006
Citation
JOURNAL OF THE KOREAN PHYSICAL SOCIETY, v.49, no.4, pp.1687 - 1690
Publisher
KOREAN PHYSICAL SOC
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