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산소 플라즈마에서 전자의 부착 및 탈락이 전자 에너지 분포 함수에 미치는 영향
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| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 정진욱 | - |
| dc.date.accessioned | 2021-08-02T09:57:38Z | - |
| dc.date.available | 2021-08-02T09:57:38Z | - |
| dc.date.created | 2021-06-30 | - |
| dc.date.issued | 2019-11-19 | - |
| dc.identifier.uri | https://scholarworks.bwise.kr/hanyang/handle/2021.sw.hanyang/11341 | - |
| dc.publisher | 한국반도체디스플레이기술학회 | - |
| dc.title | 산소 플라즈마에서 전자의 부착 및 탈락이 전자 에너지 분포 함수에 미치는 영향 | - |
| dc.type | Conference | - |
| dc.contributor.affiliatedAuthor | 정진욱 | - |
| dc.identifier.bibliographicCitation | 2019년 추계학술대회 | - |
| dc.relation.isPartOf | 2019년 추계학술대회 | - |
| dc.citation.title | 2019년 추계학술대회 | - |
| dc.citation.conferencePlace | 한양대학교 종합기술원 | - |
| dc.type.rims | CONF | - |
| dc.description.journalClass | 2 | - |
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Collections - 서울 공과대학 > 서울 전기공학전공 > 2. Conference Papers
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- Chung, Chin Wook
- COLLEGE OF ENGINEERING (MAJOR IN ELECTRICAL ENGINEERING)