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RF-biased ICP 에서 이온 밀도와 전자 온도 측정 가능한 무선 측정 장치 개발
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| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 정진욱 | - |
| dc.date.accessioned | 2022-07-04T05:13:20Z | - |
| dc.date.available | 2022-07-04T05:13:20Z | - |
| dc.date.issued | 2022-02-17 | - |
| dc.identifier.uri | https://scholarworks.bwise.kr/hanyang/handle/2021.sw.hanyang/137768 | - |
| dc.title | RF-biased ICP 에서 이온 밀도와 전자 온도 측정 가능한 무선 측정 장치 개발 | - |
| dc.type | Conference | - |
| dc.citation.conferenceName | 한국진공학회 제62회 동계정기학술대회 | - |
| dc.citation.conferencePlace | 강원도 횡성 웰리힐리파크 | - |
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Collections - 서울 공과대학 > 서울 전기공학전공 > 2. Conference Papers
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- Chung, Chin Wook
- COLLEGE OF ENGINEERING (MAJOR IN ELECTRICAL ENGINEERING)