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MEMS 가속도계의 성능분포 및 제조수율 예측Prediction of the performance distributions and manufacturing yields of a MEMS accelerometer
- Other Titles
- Prediction of the performance distributions and manufacturing yields of a MEMS accelerometer
- Authors
- Kim, Yong-il; Yoo, Hong Hee
- Issue Date
- Jul-2011
- Publisher
- The Korean Society of Mechanical Engineers
- Keywords
- Manufacturing yield; Measurable frequency range; MEMS accelerometer; Performance distribution; Sensitivity; Uncertainty; MEMS 가속도계; 불확실성; 민감도; 측정가능 주파수; 성능분포; 제조수율
- Citation
- Transactions of the Korean Society of Mechanical Engineers, A, v.35, no.7, pp.791 - 798
- Indexed
- SCOPUS
KCI
- Volume
- 35
- Number
- 7
- Start Page
- 791
- End Page
- 798
- ISSN
- 1226-4873
- Abstract
- 모든 기계 시스템의 변수는 불확실성을 가지고 이는 시스템 성능에 직접적인 영향을 미칠 뿐 아니라 생산성 감소를 야기한다. 특히 MEMS 시스템의 크기는 매우 작으므로 일반적인 기계 시스템에 비해 제조 공차는 상대적으로 커질 수 밖에 없다. 이 제조 공차에 의한 시스템 변수 불확실성은 MEMS 시스템의 성능과 제조 수율에 영향을 미친다. 본 연구에서는 두 가지의 불확실성 해석법을 이용하여 MEMS 가속도계의 시스템 변수 불확실성에 의한 성능의 불확실성 해석을 수행하고 성능분포 및 제조수율을 예측하였다.
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Collections - 서울 공과대학 > 서울 기계공학부 > 1. Journal Articles
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