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알루미노실리케이트 유리의 펨토초 레이저 나선형 드릴링 시 레이저 수직 이송 속도가 드릴링 가공 형상에 미치는 영향Effect of Vertical Laser Drilling Speed on Drilling Shapes in Femtosecond Laser Helical Drilling of an Aluminosilicate Glass Substrate

Other Titles
Effect of Vertical Laser Drilling Speed on Drilling Shapes in Femtosecond Laser Helical Drilling of an Aluminosilicate Glass Substrate
Authors
Lee, Hyeon-MinLee, HyoseungMoon, Seung-Jae
Issue Date
Dec-2017
Publisher
KOREAN SOC MECHANICAL ENGINEERS
Keywords
Femtosecond Laser; Laser Helical Drilling; Aluminosilicate Glass
Citation
TRANSACTIONS OF THE KOREAN SOCIETY OF MECHANICAL ENGINEERS A, v.41, no.12, pp.1163 - 1169
Indexed
SCOPUS
KCI
Journal Title
TRANSACTIONS OF THE KOREAN SOCIETY OF MECHANICAL ENGINEERS A
Volume
41
Number
12
Start Page
1163
End Page
1169
URI
https://scholarworks.bwise.kr/hanyang/handle/2021.sw.hanyang/18598
DOI
10.3795/KSME-A.2017.41.12.1163
ISSN
1226-4873
Abstract
본 연구는 레이저를 이용한 유리 드릴링 가공 시, 높은 가공 정밀도와 표면 품질을 달성하기 위하여, 레이저 나선형 드릴링 가공시 레이저의 수직 이송 속도의 영향을 분석한다. 레이저의 수직 이송속도에 따라서 나선형 층간 간격이 결정되며, 층간 간격은 홀의 관통여부와 홀의 표면 품질에 영향을 미친다. 실험에 사용된 유리는 400 ㎛의 두께를 지닌 알루미나실리케이트 유리이며, 1552 ㎚의 파장 길이와 800 fs의 펄스 길이를 지닌 펨토초 레이저를 이용하였다. 실험에서 사용된 레이저의 출력에서의 어블레이션 깊이를 계산하였고, 이에 따른 드릴링에 필요한 레이저 수직 이송 속도를 계산하였다. 이론적 접근 방법의 정확성을 실험을 통해 검증하였으며, 레이저 수직 이송 속도에 따라 크랙과 치핑, 열영향부에 미치는 영향을 실험적으로 확인하였다.
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