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Ar/CF4 유도 결합 플라즈마에서 이중 DC 그리드를 이용한 전자 빔 에너지 제어 연구
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| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 정진욱 | - |
| dc.date.accessioned | 2023-07-05T06:56:17Z | - |
| dc.date.available | 2023-07-05T06:56:17Z | - |
| dc.date.issued | 2023-02-09 | - |
| dc.identifier.uri | https://scholarworks.bwise.kr/hanyang/handle/2021.sw.hanyang/186938 | - |
| dc.title | Ar/CF4 유도 결합 플라즈마에서 이중 DC 그리드를 이용한 전자 빔 에너지 제어 연구 | - |
| dc.type | Conference | - |
| dc.citation.conferenceName | 제64회 한국진공학회 | - |
| dc.citation.conferencePlace | 웰리힐리파크(강원도 횡성) | - |
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Collections - 서울 공과대학 > 서울 전기공학전공 > 2. Conference Papers
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- Chung, Chin Wook
- COLLEGE OF ENGINEERING (MAJOR IN ELECTRICAL ENGINEERING)