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병렬 평판형 헬리컬 공진기를 통한 플라즈마 균일도 개선
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| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 정진욱 | - |
| dc.date.accessioned | 2023-07-05T06:57:06Z | - |
| dc.date.available | 2023-07-05T06:57:06Z | - |
| dc.date.created | 2023-07-01 | - |
| dc.date.issued | 2023-05-10 | - |
| dc.identifier.uri | https://scholarworks.bwise.kr/hanyang/handle/2021.sw.hanyang/186953 | - |
| dc.publisher | 한국반도체디스플레이기술학회 | - |
| dc.title | 병렬 평판형 헬리컬 공진기를 통한 플라즈마 균일도 개선 | - |
| dc.type | Conference | - |
| dc.contributor.affiliatedAuthor | 정진욱 | - |
| dc.identifier.bibliographicCitation | 2023년 반도체디스플레이 춘계학술대회 | - |
| dc.relation.isPartOf | 2023년 반도체디스플레이 춘계학술대회 | - |
| dc.citation.title | 2023년 반도체디스플레이 춘계학술대회 | - |
| dc.citation.conferencePlace | 제주대학교 아라컨벤션홀 대회의실(제주) | - |
| dc.type.rims | CONF | - |
| dc.description.journalClass | 2 | - |
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Collections - 서울 공과대학 > 서울 전기공학전공 > 2. Conference Papers
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- Chung, Chin Wook
- COLLEGE OF ENGINEERING (MAJOR IN ELECTRICAL ENGINEERING)