Detailed Information
Cited 0 time in 
Cited 0 time in 
Cited 0 time in
Metadata Downloads
유도 결합 플라즈마에서 병렬 안테나의 공진 조건에 따른 플라즈마의 균일도 개선 연구
Full metadata record
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 정진욱 | - |
| dc.date.accessioned | 2024-12-02T23:30:37Z | - |
| dc.date.available | 2024-12-02T23:30:37Z | - |
| dc.date.issued | 2023-08-22 | - |
| dc.identifier.uri | https://scholarworks.bwise.kr/hanyang/handle/2021.sw.hanyang/199398 | - |
| dc.title | 유도 결합 플라즈마에서 병렬 안테나의 공진 조건에 따른 플라즈마의 균일도 개선 연구 | - |
| dc.type | Conference | - |
| dc.citation.conferenceName | 제65회 한국진공학회 | - |
| dc.citation.conferencePlace | 신화월드(제주) | - |
- Files in This Item
- There are no files associated with this item.
- Appears in
Collections - 서울 공과대학 > 서울 전기공학전공 > 2. Conference Papers
Items in ScholarWorks are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.
Related Researcher
- Chung, Chin Wook
- COLLEGE OF ENGINEERING (MAJOR IN ELECTRICAL ENGINEERING)