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극저온 전자 온도 플라즈마에서 고 종횡비 trench 구조의 Charging 전압 측정에 대한 실험적 연구
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| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 정진욱 | - |
| dc.date.accessioned | 2024-12-02T23:30:37Z | - |
| dc.date.available | 2024-12-02T23:30:37Z | - |
| dc.date.issued | 2023-08-22 | - |
| dc.identifier.uri | https://scholarworks.bwise.kr/hanyang/handle/2021.sw.hanyang/199403 | - |
| dc.title | 극저온 전자 온도 플라즈마에서 고 종횡비 trench 구조의 Charging 전압 측정에 대한 실험적 연구 | - |
| dc.type | Conference | - |
| dc.citation.conferenceName | 제65회 한국진공학회 | - |
| dc.citation.conferencePlace | 신화월드(제주) | - |
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Collections - 서울 공과대학 > 서울 전기공학전공 > 2. Conference Papers
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- Chung, Chin Wook
- COLLEGE OF ENGINEERING (MAJOR IN ELECTRICAL ENGINEERING)