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회귀 합성곱 신경망 기반의 테라헤르츠 신호 학습을 통한 반도체 플라즈마 공정 조건 모니터링 기술 개발
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| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 김학성 | - |
| dc.date.accessioned | 2024-12-04T11:30:23Z | - |
| dc.date.available | 2024-12-04T11:30:23Z | - |
| dc.date.issued | 2023-05-25 | - |
| dc.identifier.uri | https://scholarworks.bwise.kr/hanyang/handle/2021.sw.hanyang/199970 | - |
| dc.title | 회귀 합성곱 신경망 기반의 테라헤르츠 신호 학습을 통한 반도체 플라즈마 공정 조건 모니터링 기술 개발 | - |
| dc.type | Conference | - |
| dc.citation.conferenceName | 2023년 한국비파괴검사학회 춘계학술대회 | - |
| dc.citation.conferencePlace | 부산항국제전시컨벤션센터(BPEX) | - |
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Collections - 서울 공과대학 > 서울 기계공학부 > 2. Conference Papers
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