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가열된 웨이퍼의 직육면체 용기 내에서의 입자 오염에 관한 연구
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| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 육세진 | - |
| dc.date.accessioned | 2021-08-03T08:35:01Z | - |
| dc.date.available | 2021-08-03T08:35:01Z | - |
| dc.date.created | 2021-06-30 | - |
| dc.date.issued | 2014-11-13 | - |
| dc.identifier.uri | https://scholarworks.bwise.kr/hanyang/handle/2021.sw.hanyang/41993 | - |
| dc.publisher | 대한기계학회 | - |
| dc.title | 가열된 웨이퍼의 직육면체 용기 내에서의 입자 오염에 관한 연구 | - |
| dc.type | Conference | - |
| dc.contributor.affiliatedAuthor | 육세진 | - |
| dc.identifier.bibliographicCitation | 대한기계학회 추계학술대회 | - |
| dc.relation.isPartOf | 대한기계학회 추계학술대회 | - |
| dc.citation.title | 대한기계학회 추계학술대회 | - |
| dc.citation.conferencePlace | 김대중컨벤션센터 | - |
| dc.type.rims | CONF | - |
| dc.description.journalClass | 2 | - |
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Collections - 서울 공과대학 > 서울 기계공학부 > 2. Conference Papers
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- Yook, Se Jin
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