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반도체 공정의 이상 감지를 위한 Data-depth 기반의 비모수 다변량 관리도 적용에 관한 연구
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| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 배석주 | - |
| dc.date.accessioned | 2021-08-03T11:18:18Z | - |
| dc.date.available | 2021-08-03T11:18:18Z | - |
| dc.date.issued | 2013-11-15 | - |
| dc.identifier.uri | https://scholarworks.bwise.kr/hanyang/handle/2021.sw.hanyang/45794 | - |
| dc.title | 반도체 공정의 이상 감지를 위한 Data-depth 기반의 비모수 다변량 관리도 적용에 관한 연구 | - |
| dc.type | Conference | - |
| dc.citation.conferenceName | 대한산업공학회 추계학술대회 | - |
| dc.citation.conferencePlace | 성균관대, 수원 | - |
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Collections - 서울 공과대학 > 서울 산업공학과 > 2. Conference Papers
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- Bae, Suk Joo
- COLLEGE OF ENGINEERING (DEPARTMENT OF INDUSTRIAL ENGINEERING)