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효율적인 원자층 증착 순서에 의한 Al 도펀트의 ZnO 박막에의 균일한 분포에 대한 연구
- Authors
- 전형탁
- Issue Date
- 2-Jun-2011
- Place
- 서울대학교 엔지니어하우스
- Conference Name
- 한국반도체디스플레이기술학회 2011년 춘계 학술대회
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- Appears in
Collections - 서울 공과대학 > 서울 신소재공학부 > 2. Conference Papers
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