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Al2O3/HfO/Al2O3터널장벽 WSi2나노 부유게이트 커패시터의 전기적 특성
- Authors
- 김은규
- Issue Date
- 19-Aug-2010
- Publisher
- 한국진공학회
- Citation
- 제39회 한국진공학회 하계학술대회
- Conference Name
- 제39회 한국진공학회 하계학술대회
- Place
- 보령비체팰리스
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- Appears in
Collections - 서울 자연과학대학 > 서울 물리학과 > 2. Conference Papers
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