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캐필러리 플레이트를 사용한 콘텍트 홀 바닥에서의 이온에너지 분포 측정 방법
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| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 정진욱 | - |
| dc.date.accessioned | 2021-07-30T08:07:47Z | - |
| dc.date.available | 2021-07-30T08:07:47Z | - |
| dc.date.created | 2021-06-30 | - |
| dc.date.issued | 2021-05-20 | - |
| dc.identifier.uri | https://scholarworks.bwise.kr/hanyang/handle/2021.sw.hanyang/5925 | - |
| dc.publisher | 한국반도체디스플레이기술학회 | - |
| dc.title | 캐필러리 플레이트를 사용한 콘텍트 홀 바닥에서의 이온에너지 분포 측정 방법 | - |
| dc.type | Conference | - |
| dc.contributor.affiliatedAuthor | 정진욱 | - |
| dc.identifier.bibliographicCitation | 2021년 춘계학술대회 | - |
| dc.relation.isPartOf | 2021년 춘계학술대회 | - |
| dc.citation.title | 2021년 춘계학술대회 | - |
| dc.citation.conferencePlace | 제주도 호텔난타 | - |
| dc.type.rims | CONF | - |
| dc.description.journalClass | 2 | - |
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Collections - 서울 공과대학 > 서울 전기공학전공 > 2. Conference Papers
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Related Researcher
- Chung, Chin Wook
- COLLEGE OF ENGINEERING (MAJOR IN ELECTRICAL ENGINEERING)