자기조립법으로 형성된 polystyrene 모노레이어를 이용한 ZnO 나노막대-나노튜브 하이브리드 네트워크 제작 및 특성평가

Abstract

나노구조를 갖는 재료의 패터닝기술은 나노디바이스의 집적화 및 성능과 직결되어 고성능/고집적화를 실현하기 위해 매우 중요한 기술이다. 기존의 top-down 방식인 포토리소그래피는 작은 크기의 패턴을 만들기 힘들며, 전자빔 리소그래피의 경우에는 공정비용이 비싸다는 단점을 가지고 있다. 그리하여 연구되고 있는 bottom-up 방식의 패터닝 기술은 리소그래피의 단점인 나노크기의 패터닝이 가능하며 공정이 간단하고 고가의 장비가 필요하지 않아 공정비용이 저렴하고 대면적 패터닝이 가능하다는 이점이 있다.