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SiO1.3N 유전체내에 2중구조로 형성된 금 나노입자를 사용한 나노부유게이트 비휘발성 메모리소자의 특성 향상
- Authors
- 김은규
- Issue Date
- 15-Feb-2008
- Publisher
- 한국진공학회
- Citation
- 제34회 한국진공학회 동계정기학술대회
- Conference Name
- 제34회 한국진공학회 동계정기학술대회
- Place
- 단국대학교 죽전캠퍼스
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- Appears in
Collections - 서울 자연과학대학 > 서울 물리학과 > 2. Conference Papers
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