방전 플라즈마 소결법을 이용한 ZnS-SiO2 스퍼터 타겟제조

Abstract

대표적인 상변화형 광기록매체 리라이터블 콤팩트 디스크(CD-RW), 램덤 액세스 메모리 디지털 비디오 디스크(DVD-RAM), DVD+리라이터블(DVD+RW) 등과 같은 리라이터블 광 디스크(rewritable optic disks)가 있다. ZnS계 박박층은 상변태층(Ge-Sb-Te 또는 Ag-ln-Sb-Te)을 보호하기 위해 사용되며, 다음과 같은 역할을 한다. 첫째, 기록층으로의 레이저빔에 대한 흡수율 강화시키며, 둘째, 결정상과 비결절상 사이에서 굴절률 향상을 통한 재생신호 강화시키고, 셋째, 열충격으로부터 폴리카보네이트 기판층을 보호한다. 최근, 광기록 매체의 수요증가에 의한 생산성 향상이 요구되고, 이로 인해 구성층의 증착 속도 고속화가 필요하여, 고출력 스퍼터의 사용이 일반화 되었다. 하지만 이러한 고출력 스터의 사용은 타겟재의 균열 발생을 초래하여 수명을 단축시키는 문제점을 가지고 있다. 따라서 소결된 타겟재료는 높은 균열저항성과 소결밀도, 그리고 우수한 강도와 미세조직이 요구된다. 본 연구에서는 방전플라즈마소결법 (Spark Plasma Sintering, SPS)을 사용하여 높은 소결밀도와 미세결정립을 가지는 소결체를 제조하여 그의 기계적 특성을 평가하였다.