Fabrication of LiCoO2 cathode for thin film battery by Aerosol Flame Deposition.

Abstract

재충전용 박막전지는 스마트 카드, 소형전기기계, 의료기기 등 많은 분야에서 매우 중요한 역할을 한다. 또한 전자기기의 소형화, 고집적화에 따라 마이크로 시스템 분야에 대한 수요가 급증하고 있으며 여기에 필요한 초소형 박막전지 개발의 필요성이 증가하고 있다. 오래 전부터 박막전지용 양극물질로는 작동전압이 높고 긴 수명을 가진 것이 입증된 분말 형태의 LiCoO2를 사용하여 왔다. 본 연구에서 LiNO3와 Co(CH3COO)2를 메탄올에 용해시켜 0.1mol의 수용액을 제조하였다. 제조된 수용액을 초음파 분무 장치에서 미세한 증기 형태로 기화시켜 불꽃반응에 의하여 LiCoO2를 형성, AFD(Aerosol Flame Deposition)방법을 이용하여 LiCoO2를 Si 웨이퍼에 증착 하였다. 증착된 LiCoO2입자의 크기는 수십나노 사이즈이며 10㎛가 증착 된 것을 볼 수 있었다. 본 연구에서는 박막형 2차전지에 필요한 cathode 제작의 가능성을 제시하고자 한다.