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"다이렉트 플라즈마와 리모트 플라즈마 원자층 증착법으로 증착한 하프늄 산화막의 물리적, 전기적 특성에 관한 연구"
- Authors
- 전형탁
- Issue Date
- 10-Nov-2005
- Place
- 한양대학교 한양종합 기술연구동(HIT)
- Conference Name
- 2005년도 한국재료학회 추계학술대회 및 제9회 신소재 심포지엄
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- Appears in
Collections - 서울 공과대학 > 서울 신소재공학부 > 2. Conference Papers
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