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아르곤 유도결합 플라즈마에서 정전탐침과 마이크로파 탐침을 이용한 플라즈마 밀도 측정 비교 연구
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| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 정진욱 | - |
| dc.date.accessioned | 2021-08-04T04:52:41Z | - |
| dc.date.available | 2021-08-04T04:52:41Z | - |
| dc.date.issued | 2005-04-22 | - |
| dc.identifier.uri | https://scholarworks.bwise.kr/hanyang/handle/2021.sw.hanyang/72773 | - |
| dc.title | 아르곤 유도결합 플라즈마에서 정전탐침과 마이크로파 탐침을 이용한 플라즈마 밀도 측정 비교 연구 | - |
| dc.type | Conference | - |
| dc.citation.conferenceName | 한국물리학회 | - |
| dc.citation.conferencePlace | 이화여자대학교 | - |
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Collections - 서울 공과대학 > 서울 전기공학전공 > 2. Conference Papers
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- COLLEGE OF ENGINEERING (MAJOR IN ELECTRICAL ENGINEERING)