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유기소스 원자층 증착법으로 증착된 TiN 박막의 특성 연구
- Authors
- 전형탁
- Issue Date
- 17-May-2002
- Place
- 한양대학교(안산) 제1과학기술관 및 백남학술관
- Conference Name
- 2002 한국재료학회 춘계학술발표대회
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- Appears in
Collections - 서울 공과대학 > 서울 신소재공학부 > 2. Conference Papers
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