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PSD를 이용한 AFM용 미세 탐촉자의 변위측정장치
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| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 장경영 | - |
| dc.date.accessioned | 2021-08-04T09:24:46Z | - |
| dc.date.available | 2021-08-04T09:24:46Z | - |
| dc.date.issued | 2000-10-28 | - |
| dc.identifier.uri | https://scholarworks.bwise.kr/hanyang/handle/2021.sw.hanyang/80069 | - |
| dc.description.abstract | 원자력간 현미경 (AFM)의 핵심이 되는 칸틸레버의 미세 변위 측정 장치를 레이저와 PSD (Position Sensitive Detector)를 이용하여 구현하고 그 성능을 평가하였다. 주요 광학계의 설계 방향을 제시하였으며 50nm의 단차를 측정하여 상용장치의 측정결과와 비교한 결과 5nm의 차이로 잘 일치함을 보였다. | - |
| dc.title | PSD를 이용한 AFM용 미세 탐촉자의 변위측정장치 | - |
| dc.type | Conference | - |
| dc.citation.conferenceName | 한국정밀공학회 2000년도 추계 학술대회 | - |
| dc.citation.conferencePlace | 경기도 수원시 아주대 | - |
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Collections - 서울 공과대학 > 서울 기계공학부 > 2. Conference Papers
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