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금속 불순물이 Si기판의 표면 미세거칠기에 미치는 영향에 대한 연구
- Authors
- 전형탁
- Issue Date
- 1-May-1998
- Conference Name
- 한국 재료학회 춘계 학술대회
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- Appears in
Collections - 서울 공과대학 > 서울 신소재공학부 > 2. Conference Papers
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