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n형 Bi-Te와 p형 Sb-Te 증착박막으로 구성된 in-plane 열전센서의 형성공정 및 감지특성
배재만; 김민영; 오태성
Article
Issue Date
2012
Citation
마이크로전자 및 패키징학회지, v.19, no.1, pp.33 - 38
Publisher
한국마이크로전자및패키징학회
증착공정 및 환원분위기 열처리가 Sb-Te 박막의 열전특성에 미치는 영향
배재만; 김민영; 오태성
Article
Issue Date
2010
Citation
마이크로전자 및 패키징학회지, v.17, no.4, pp.77 - 82
Publisher
한국마이크로전자및패키징학회
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