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증착공정 및 환원분위기 열처리가 Sb-Te 박막의 열전특성에 미치는 영향Effects of Evaporation Processes and a Reduction Annealing on Thermoelectric Properties of the Sb-Te Thin Films
- Other Titles
- Effects of Evaporation Processes and a Reduction Annealing on Thermoelectric Properties of the Sb-Te Thin Films
- Issue Date
- 2010
- Publisher
- 한국마이크로전자및패키징학회
- Keywords
- thermoelectrics; thin films; evaporation; coevaporation; annealing; power factor
- Citation
- 마이크로전자 및 패키징학회지, v.17, no.4, pp.77 - 82
- Journal Title
- 마이크로전자 및 패키징학회지
- Volume
- 17
- Number
- 4
- Start Page
- 77
- End Page
- 82
- ISSN
- 1226-9360
- Abstract
- 증착공정 및 환원분위기 열처리가 p형 Sb-Te 박막의 열전특성에 미치는 영향을 연구하였다. Sb2Te3 잉곳을 분쇄한 분말을 증착원으로 사용하여 형성한 박막은 2.71×10-4 W/m-K2, Sb와 Te 혼합분말을 증착원으로 사용하여 형성한박막은 0.12×10-4 W/m-K2, Sb와 Te의 동시증착으로 제조한 박막은 0.73×10-4 W/m-K2의 출력인자를 나타내었다. 300oC 에서 2시간 유지하는 환원분위기 열처리에 의해 Sb2Te3 잉곳을 분쇄한 분말을 증착원으로 사용하여 형성한 박막의 출력인자가 24.1×10-4 W/m-K2로 향상되었으며, Sb와 Te의 동시증착으로 제조한 박막의 출력인자는 40.2×10-4 W/m-K2로 크게 향상되었다.
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