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Semi-additive 방법을 이용한 폴리이미드 필름 상의 미세 구리배선 제작에 관한 연구
이재호
; 변성섭
Article
Issue Date
2006
Citation
마이크로전자 및 패키징학회지, v.13, no.2, pp.9 - 14
Publisher
한국마이크로전자및패키징학회
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