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원자막증착법(ALD) SnO2 촉매를 적용한AlGaN/GaN 이종접합 트랜지스터 NO2 가스센서
양수혁;
김형탁
Article
Issue Date
2020
Citation
전기전자학회논문지, v.24, no.4, pp.1117 - 1121
Publisher
한국전기전자학회
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