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다결정 실리콘 박막 위에 P 이온 샤워 도핑 후 열처리 방법에 따르는 도펀트 활성화 및 결함 회복에 관한 효과
김동민; 노재상; 이기용
Article
Issue Date
2005
Citation
전기화학회지, v.8, no.1, pp.24 - 31
Publisher
한국전기화학회
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